样品与前置条件
- 真空兼容且表面不被无意触碰或清洗
- 保留样品转移、存储和暴露历史
- 绝缘样品需规划电荷补偿
建议工作流
- 明确问题是否真正需要近表面信息
- 先采 survey 谱，再采目标元素高分辨谱
- 记录 X 射线源、通能、光斑、角度与电荷补偿
- 透明说明能量校准、背景和峰约束
- 定量时报告灵敏度因子和不确定度
结果怎么解释
- 结合能位移需与充电和校准区分
- 峰拟合组分必须有化学和物理依据
- 离子溅射可能改变价态或优先移除元素
局限与常见误区
- 通常只代表近表面数纳米
- H、He 通常不可检测
- 复杂有机物或混合价态可能存在非唯一拟合
标准与权威来源
请在正式试验前核对适用产品标准、设备 SOP 和标准的现行版本。